μDefectInspector 分離型
ガラス板のような形状品の欠陥検査を実現しました。
検査対象
表面で光を反射する材質であれば検査できます。
板形状、異形形状などに対応します。
球形状、丸棒・パイプ・チューブ形状にも使用できます。(複数個構成で対応)
検査方法
複数の受光素子内に反射光を投影し、その変化で欠陥を検出しています。
(弊社特許取得技術)
特長
投光、受光センサを分離式にしたので、様々な形状品の表面検査に対応できます。
高速サンプリングで測定しますので、微小欠陥の検出ができます。
(深さ数μmの欠陥を検出しています 実験値)
受光センサが複数素子構成となっているので、位置ずれに対応できます。
使用例
ガラス板の表面キズ、内部気泡を同時一括検査します。
モニタ画面
選択した受光素子の測定データがグラフ表示されます。
検任意の閾値にて、OK/NGの判定を行います。
NG判定時は外部信号が出力されます。
NG判定データは自動保存されます。
応用先
異型材
カテーテル
透明チューブ
フィッシュアイ
OK
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