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表面欠陥検査装置 NewWireInspector 「より小さい欠陥」「より速く検出」を実現しました受光パラメータが微調整できる。より精度の高い検出が可能。!! 微小表面欠陥検査装置 μDefectInspector 分離型 検出位置や領域を自由に設定でき、省スペース ガラス板のような形状品の欠陥検査を実現
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